• Минпромторг выделил 1,38 млрд рублей на ОКР по созданию опытного образца установки для контроля ионного легирования полупроводниковых пластин. Тендер опубликован 1 июня 2026 года, работы заявлены до октября 2029 года.
• Установка рассчитана на пластины 200 мм; в техзадании также упомянуты 100, 150 и 200 мм. Заявлены не менее 10 пластин в час и измерение 9 точек на пластину, а расчет дозы легирования предусмотрен методом термических волн.
• Это госзаказ в микроэлектронике с критическими узлами российского производства, который поддерживает курс на импортозамещение и может снизить зависимость от зарубежного контрольно-измерительного оборудования.
15 июня